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01
气体安全
半导体行业的进击一环
频年来,半导体行业气体清晰事件时有发生,其中不乏好意思国、日本、韩国等著明半导体制造企业,由此滋生出的爆燃、光刻机损毁、超净车间破坏、晶圆批量报废、东谈主员伤一火等事故令东谈主惊魂动魄。
电子气体是半导体制造经由中不行或缺的基础材料,品类多达上百种,老本约占芯片总老本的13%,被誉为“芯片血液”。
电子气体多为易燃易爆、有毒无益、腐蚀性、窒息性气体,一朝发生清晰,哪怕黑白常轻细的清晰,也可能引起爆炸、东谈主员窒息或中毒事故。
气体安全是半导体行业高质料发展的进击一环。《特种气体系统工程本事步调》(GB50646-2020)中有强制性规则,在储存、运送、使用特种气体的区域或场面,如气瓶柜和阀门箱的排风管口处、废气料理安设排风出管口处、惰性气体车间等,应开垦特种气体探伤安设。
02
高性能传感加执
半导体行业专用气体检测仪
汉威科技(300007)集团推出的半导体工场气体检测仪GD-HS10,是一款故意用于检测半导体工场中可燃、有毒、无益气体清晰的高端自研产物,具有高机灵度、高可靠性、低浓度检测等特质,可检测氨气、砷化氢、氯气、硅烷等上百种气体,适用于半导体、液晶面板、光伏和电板制造等行业。
平淡掩盖
扶持上百种气体检测
扶持电化学、催化、光学等多种旨趣的气体传感器,可检测上百种气体,扶持个性化定制。
使用简单
传感器模组即插即用
传感器继承模块化谋划,即插即用,更换、可贵更简单纯真。
性能向上
超远距离高精度检测
进气管长达30米,可进行超远距离检测;每种气体均继承对应温度赔偿及和会算法,可竣事ppm级高精度精确检测。
直不雅显露
点阵式大屏一目了然
点阵式LCD大屏显露界面好意思不雅易读,气体称呼、浓度、报警情况等一目了然,适应国内用户民俗。
现在,汉威科技集团的半导体工场气体检测仪GD-HS10也曾到手哄骗于多家半导体制造工场,并取得用户的一致认同。
结语
半导体行业是关乎国度安全和科技竞争力的策略性先导产业开云kaiyun中国官方网站,气体安全是行业高质料发展的进击一环。算作气体传感器与安全模样领域的领军企业,汉威科技集团将以高端自研产物护航半导体行业发展。